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睿斯合點膠針對半導(dǎo)體行業(yè)的精密點膠需求,研發(fā)出大理石機架+直線電機點膠機,精度可達1um,速度可達1.5m/s,百級防塵,打造無塵工作環(huán)境。
半導(dǎo)體點膠機LS-77核心優(yōu)勢
高速運行,高速點膠,最大速度可達1.5m/s(X/Y),最大加速度1.5g(X/Y)。
高精度,大理石平臺結(jié)構(gòu)精密質(zhì)地均勻,穩(wěn)定性好,強度大、硬度高,耐磨性好,能在重負荷及一般溫度下保持穩(wěn)定。直線電機加速度大,因為消除了影響精度的中間環(huán)節(jié),系統(tǒng)的精度更高。
百級防塵,配置防塵部件及線纜,氣體過濾等,打造無塵工作環(huán)境,專用于環(huán)保車間。ESD防靜電設(shè)計(符合IEC61340、ANSI/ESDS20.20標準) ;防震動(礦物質(zhì)框架,具有良好吸震性,有效減少高速運動帶來的沖擊)。
適用行業(yè)
符合半導(dǎo)體行業(yè)高精高速的點膠工藝需求。
LS-77 | 基本參數(shù) |
尺寸 mm | 770×1170×1770(W*D*H) |
重量 kg | 標準機:980 |
用電需求 | 電壓220V,50HZ,電流16A |
氣壓需求MPa | 最小氣壓0.6 |
設(shè)備功耗W | ≦3200 |
有效行程 mm | X410*Y475(單閥單軌);X410*Y400(單閥雙軌) X350*Y475(雙閥單軌);X350*Y400(雙閥雙軌) |
軌道高度mm | 910±30 |
軌道承重(含載具)Kg | 4.5 |
最大基板厚度 mm | 5.5 |
軸數(shù) | X、Y、Z |
驅(qū)動方式 | 直線電機+精密導(dǎo)軌 |
定位精度 | ±2um(X\Y);±2um(Z) |
重復(fù)精度 | ±1um(X\Y);±1um(Z) |
最大速度 | 1.5m/s(X/Y); |
最大加速度 | 1.5g(X/Y); |
視覺定位系統(tǒng) | 工業(yè)CCD |
計算機及軟件 | Windows 系統(tǒng)開發(fā)下軟件 |
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